GMP驗證中推薦的臭氧滅菌方法，用得比較成功的方面：需滅菌物品的表面消毒滅菌在藥品生產過程中，常常要對原材料，工器具，包裝物等進行表面消毒，常常使用消毒柜，傳遞窗等。傳統(tǒng)的方法是用紫外線消毒。問題主要是在消毒不徹的底，所以，若使用在諸如傳遞窗等要求不高的場合是可以的。但遠不如臭氧的效果好。只要不怕臭氧腐蝕的東西都可以放在柜內進行消毒。
過氧化氫等離子滅菌范圍：
1、適合滅菌的材料：鋁、銅、Kraton共聚物、玻璃、乙烯、乙酸乙烯、液晶共聚物、聚碳酸脂、鈦、聚氨基甲酸脂、聚氯乙烯、不銹鋼、聚醚醚酮、聚乙烯聚苯、聚四氟乙烯、聚醚酰亞胺（U1tem共聚物）、聚苯乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、硅氧烷彈性體等。
2、產品適用范圍：患者端連接電線電纜、光學鏡片和玻璃鏡頭、動力設備和電池、硬式內窺鏡、導管、手術器械。
3、不適合滅菌的物品，但不局限下列物品：
a.內徑小于1mm、長度大于500mm的不銹鋼管腔類器械；內徑小于1mm，長度大于2000mm的聚四氟乙烯管腔類器械；
b.吸濕材料（木質器械、棉織物、紗布等纖維素制成物）；
c.一次性器械（一次性防水織物）；
d.液體、膏劑、油劑和粉劑；
e.不完的全干燥的物品；
f.一端封閉的內腔；
g.植入物；
h.不能承受真空壓力的器械；
i.標示為使用壓力蒸汽滅菌或環(huán)氧乙烷滅菌的器械；
j.器械具有復雜的內部部件，難以清洗，例如密封軸承；
k.帶有尼龍拼和表面的物品；
l.老化，表面有破損，材質不確定的軟式內鏡。
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